米乐M6 M6米乐华林科纳产品解析：集中供液设备第二代CDS、SDS设备

　　随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，传统的人工手动配液，补液逐渐被自动供液取代，此过程中，化学品集中供液（Chemical Dispense System)、原液集中供液（Slurry Dispense System）得到越来越重要、广泛的应用，尤其在大扬程输送，精确配比等使用环境下，便体现出其极大的优势。

　　华林科纳(江苏)半导体设备有限公司（简称CSE），成立于2008年3月。前身是苏州华林科纳半导体设备技术有限公司，与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合资共建，其湿制程业务始于 90年代末，拥有20多年的行业经验，是国内最早的湿法制程整体解决方案提供商。

　　公司下设半导体湿法装备事业部、高纯流体配件事业部、半导体信息服务事业部，其中半导体湿法装备事业部凭借资深经验，现已形成湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品，广泛应用于大规模集成电路电力电子器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域。

　　华林科纳与苏州纳米研究所合资共建，保障了前沿技术、核心技术、关键技术的研究和开发；

　　华林科纳具有高新技术企业资质，核心技术人员来自德国、台湾、苏州纳米所，均有十五年以上CDS和WETBENCH的研发设计经验；

　　2020年，我司对标国外一流厂商，建成千级湿法实验室，是国内唯一能配合用户实现DEMO的厂家

　　系统主要由设备壳体、抽风系统、电控单元、供液系统、管路单元及分配阀箱等部分组成；

　　供液系统，一般情况下，同种溶液的原液桶为两个（200L），一备一用。当其中一个桶的液位传感器检测到该桶已经无液时，信号会自动使切换阀切换到另一个满桶继续工作。

　　配置彩色人员操作界面, Proface 10”触摸屏,操作画面设计个性化定制；

　　主要用途：本系统设备主要以本地供应方式来提供制程所需之清洗液，包括研磨液原物料输送、混合稀释、循环供应功能及运转测试等；

　　不同的slurry特性，不同的辅助功能：循环，搅拌，加湿，喷淋，吹扫等；

　　供液泵的选择，采用CDA作为动力源，选用的材质，需对各种腐蚀性液体、带颗粒的液体、高粘度、易挥发、易燃的液体均可传输；

　　隔膜泵，M6 米乐风囊泵特点：具有自吸功能，可空转运行，没有机械密封，不会产生颗粒及污染，适用于中高黏度的液体，膜片抗腐蚀。

　　根据不同化学品/Slurry 特性选择不同辅助功能：循环，搅拌，加湿，喷淋，吹扫等；

　　电子秤精度一般1/3000~1/1000，主要用于相对稳定药液，对温度，压力等要求低，具有不易挥发性；

　　减少喷淋，吹扫，加湿，搅拌等辅助功能对混合储罐的连接影响，增强电子秤准确性；

　　针对特种化学品液体本身的特点和使用需求进行设计施工，因此具备很强的针对性。